三星电子，DRAM采用EUV制程，向客户供应100万个模组
admin
2021-01-29 10:46:33
0次
三星电子在行业内，成为首个在DRAM上采用EUV制程，具备了量产能力。
三星电子采用EUV制程生产的超过100万个的第1代10纳米级DDR4 DRAM 模组，已经供货给全球客户，并完成了客户的评价。
因此，三星电子在Memory行业，成为首个在新一代DRAM产品全面采用EUV制程，再次突破了半导体精密工程的限制，形成DRAM的新标杆。
如果采用EUV极紫外光刻技术，能够减少Multi-patterning工序，提升patterning的准确度的同时提升性能和收率，具备产品开发时间的有点。三星电子目前正在开发EUV制程14纳米基础第4代10纳米级(1a) DRAM量产技术，预计未来将会把新一代产品的品质和收率提升到原有制程以上的水平。
利用EUV生产的4代10纳米级(1a) DRAM，对比1代10纳米级(1x) DRAM，在12英寸晶圆的生产性上提升了2倍，进一步强化了事业竞争力。
三星电子计划明年开始开发性能和容量更高的4代10纳米级(1a)DRAM(DDR5, LPDDR5)的量产技术，和5代、6代DRAM，从而在高端Memory市场上进一步强化领导地位。
三星电子Memory事业部DRAM开发室李副社长表示“在业内首次采用EUV制程量产DRAM，可以为全球客户提供更加先进的解决方案”，“明年也将通过创新性的技术，先行开发新一代产品，为全球IT市场持续做出贡献”。
