台积电5nm工艺速览：引入更多EUV掩膜，密度提升1.84x
admin
2021-02-05 22:33:53
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最近有业内消息称，台积电将会在下个月开启5nm制程的大规模量产，上周六，WikiChip将他们从各种会议上掌握到的台积电5nm工艺信息整理成了文章，本文就简单介绍一下台积电5nm制程的一些特性与它达成的目标。
图片来自于WikiChip，下同
WikiChip预测台积电的5nm工艺密度将达到171.3MTr/mm2，而在IEDM上面，台积电公开密度提升有1.84倍，与WikiChip预测的1.87倍十分相近。
台积电N5工艺使用的EUV掩膜
