我国首台！华工科技高端晶圆激光切割设备问世：核心100%国产
admin
2023-07-11 16:05:37
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快科技7月11日消息，随着科技的快速发展，激光技术的应用边界不断拓展，尤其在高端制造领域，作为加工工具，激光对于确保半导体芯片的性能起着重要作用。
近日，“中国激光第一股”华工科技有了新的突破，据“中国光谷”微信公众号消息， 华工科技近期制造出我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备。
据华工激光半导体产品总监黄伟介绍，晶圆机械切割的热影响和崩边宽度约20微米，传统激光在10微米左右，经一年努力，华工科技半导体晶圆切割技术成功实现升级， 热影响降为0，崩边尺寸降至5微米以内，切割线宽可做到10微米以内。
据了解，晶圆是芯片的母体，其切割和分离的精度将影响芯片性能和成本，传统的机械切割或激光切割会产生热影响和崩边，从而降低芯片质量。
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