本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆清洗机。

背景技术：

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。

晶圆在生产中经过打磨后表面需要进行清洗处理，以保证晶圆表面的洁净度，以往在对晶圆清洗时需要逐一的对其两面进行清洗，并且此过程靠手动进行，因此，不仅增加了劳动力，并且工作的效率也得不到提高，进而无法满足使用的需求。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆清洗机，解决了以往在对晶圆清洗时需要逐一的对其两面进行清洗，并且此过程靠手动进行，因此，不仅增加了劳动力，并且工作的效率也得不到提高的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆清洗机，包括装置主体，所述装置主体的内底部固定连接有清洗台，所述装置主体的内底部且位于清洗台的两侧均设置有滑轨，所述滑轨的表面且靠近前端与后端均滑动连接有滑动板，所述滑动板的上表面均固定连接有第一电推杆，所述第一电推杆的活动端固定连接有第一活动杆，所述第一活动杆的顶部固定连接有安装板，所述安装板的上表面通过支杆固定连接有分流管，所述分流管的表面固定安装有多个喷嘴，所述安装板的一端通过轴承活动连接有毛刷辊，所述安装板的侧壁固定连接有传动电机，所述传动电机的输出端与毛刷辊相连接，所述装置主体的内顶部固定连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活动端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的底部固定连接有固定压板，所述固定压板的两侧壁均固定连接有侧板，所述装置主体的侧壁设置有储液箱，所述装置主体的侧壁且位于储液箱的上方固定连接有泵体。

优选的，所述装置主体的前内壁与后内壁均固定连接有第二电推杆，所述第二电推杆的活动端固定连接有第二活动杆，所述第二活动杆远离第二电推杆的一端与滑动板固定连接。

优选的，所述清洗台的上表面设置有多个限位件，且限位件的表面开设有限位槽，所述限位件为弹性材质制成。

优选的，所述装置主体的内部固定连接有两个导向杆，两个所述导向杆分别位于固定压板的两侧，且导向杆贯穿侧板。

优选的，所述泵体与储液箱通过连通管相连通，所述泵体的输出端固定连接有三通管，所述三通管的两个出口均固定连接有输送管，所述输送管远离三通管的一端延伸至装置主体的内部与分流管相连通，所述输送管为硅橡胶材质制成。

优选的，所述固定压板的下表面设置有防护垫，所述防护垫为矩形结构，所述防护垫为弹性材质制成，且防护垫的位置与限位件的位置相对应。

优选的，所述清洗台的表面开设有多个通孔，且通孔的位置均匀分布在限位件的四周处。

优选的，所述毛刷辊的位置分别位于清洗台的两侧，所述毛刷辊与喷嘴相互配合。

工作原理：使用时，将待清洗的晶圆放置在清洗台2上所设置的限位件3上，并利用限位件3的限位槽27对其进行限位，待所有的晶圆排放完成后启动伸缩气缸16，伸缩气缸16控制伸缩杆17伸长，进而固定压板18沿着导向杆20向下运动，直至固定压板18下表面所设置的防护垫19与晶圆的上边缘相贴合，即实现对晶圆的固定，之后启动第一电推杆7，第一电推杆7通过第一活动杆8将安装板9顶起，使其与待清洗晶圆位于水平高度，然后启动第二电推杆14，第二电推杆14通过第二活动杆15使滑动板5沿着滑轨4进行运动，直至两侧的毛刷辊12与晶圆的表面相接触，然后启动泵体22，泵体22通过连通管23将储液箱21内部的液体抽出，之后通过三通管24将清洗液输送至输送管25的内部，然后输送管25再将清洗液送入至与其相连的分流管10的内部，进入分流管10的清洗液由喷嘴11喷向晶圆的两面，与此同时，启动传动电机13，传动电机13控制毛刷辊12进行转动，进而实现对晶圆两面的同时刷洗，并且通过第一电推杆7的升降能够实现对晶圆不同位置的刷洗，保证清洗的质量。

(三)有益效果

本发明提供了一种晶圆清洗机。具备以下有益效果：

1、通过对清洗机的结构设计，使得该清洗机在进行晶圆清洗时能够同时对个晶圆进行清洗，并且能够满足两面同时进行的清洗的效果，进而能够大大增加清洗的效率。

2、通过自动化的结构设计，使得晶圆清洗时能够大大降低人工手动操作的劳动量，进而在一定程度生能够节约成本，因此，能够满足使用的需求。

3、通过刷毛辊与喷嘴的配合，使得对晶圆的清洗更加彻底，进而能够保证对晶圆的清洗质。

附图说明

图1为本发明内部结构示意图；

图2为本发明内部结构侧视图；

图3为本发明清洗台结构俯视图；

图4为本发明三通管与分流管连接结构示意图；

图5为本发明安装板结构示意图。

其中，1、装置主体；2、清洗台；3、限位件；4、滑轨；5、滑动板；6、侧板；7、第一电推杆；8、第一活动杆；9、安装板；10、分流管；11、喷嘴；12、毛刷辊；13、传动电机；14、第二电推杆；15、第二活动杆；16、伸缩气缸；17、伸缩杆；18、固定压板；19、防护垫；20、导向杆；21、储液箱；22、泵体；23、连通管；24、三通管；25、输送管；26、通孔；27、限位槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：

如图1-5所示，本发明实施例提供一种晶圆清洗机，包括装置主体1，装置主体1的内底部固定连接有清洗台2，装置主体1的内底部且位于清洗台2的两侧均设置有滑轨4，便于滑动板5运动，的滑轨4的表面且靠近前端与后端均滑动连接有滑动板5，控制安装板9的前后运动，滑动板5的上表面均固定连接有第一电推杆7，控制安装板9的上将运动，第一电推杆7的活动端固定连接有第一活动杆8，第一活动杆8的顶部固定连接有安装板9，安装板9的上表面通过支杆固定连接有分流管10，分流管10的表面固定安装有多个喷嘴11，用于将清洗液喷出，进而实现对晶圆的清洗，安装板9的一端通过轴承活动连接有毛刷辊12，安装板9的侧壁固定连接有传动电机13，控制毛刷辊12的抓的转动，从而配合喷嘴11对晶圆进行高效的清洗加工，传动电机13的输出端与毛刷辊12相连接，装置主体1的内顶部固定连接有伸缩气缸16，控制固定压板18的升降运动，伸缩气缸16的活动端固定连接有伸缩杆17，伸缩杆17的底部固定连接有固定压板18，用于对待清洗的晶圆进行限位固定，固定压板18的两侧壁均固定连接有侧板6，装置主体1的侧壁设置有储液箱21，用于清洗液的存放，装置主体1的侧壁且位于储液箱21的上方固定连接有泵体22。

装置主体1的前内壁与后内壁均固定连接有第二电推杆14，第二电推杆14的活动端固定连接有第二活动杆15，第二活动杆15远离第二电推杆14的一端与滑动板5固定连接，控制滑动板5的前后运动。

清洗台2的上表面设置有多个限位件3，且限位件3的表面开设有限位槽27，限位件3为弹性材质制成，对晶圆发放置具有限位效果，并且在固定时晶圆具有保护效果。

装置主体1的内部固定连接有两个导向杆20，两个导向杆20分别位于固定压板18的两侧，且导向杆20贯穿侧板6，保证固定压板18的平稳运动。

泵体22与储液箱21通过连通管23相连通，泵体22的输出端固定连接有三通管24，三通管24的两个出口均固定连接有输送管25，输送管25远离三通管24的一端延伸至装置主体1的内部与分流管10相连通，输送管25为硅橡胶材质制成，便于清洗液的输送，以及保证安装板9的正常运动，使工作顺利进行。

固定压板18的下表面设置有防护垫19，防护垫19为矩形结构，防护垫19为弹性材质制成，且防护垫19的位置与限位件3的位置相对应，配合限位件3对晶圆固定其防护作用。

清洗台2的表面开设有多个通孔26，且通孔26的位置均匀分布在限位件3的四周处，便于对晶圆清洗时污渍的流出。

毛刷辊12的位置分别位于清洗台2的两侧，毛刷辊12与喷嘴11相互配合，实现同时对晶圆双面加工的效果，并且保证对晶圆清洗的质量。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。