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一种gpp裸片表面缺陷视觉检测装置
技术领域
1.本实用新型属于晶片检测技术领域，特别涉及一种gpp裸片表面缺陷视觉检测装置。


背景技术：

2.裸片是指在加工厂生产出来的芯片，即是晶圆经过切割测试后没有经过封装的芯片，这种裸片上只有用于封装的压焊点，是不能直接应用于实际电路当中的。然而裸片极易受外部环境的温度、杂质和物理作用力的影响，很容易遭到破坏，所以必须封入一个密闭空间内，引出相应的引脚，才能作为一个基本的元器件使用，由于其容易受到外部因素而遭到破坏，所以，需要对裸片进行表面缺陷的检测。
3.对于gpp裸片而言，传统的检测方式包括视觉aoi检测，视觉aoi检测技术是模仿人工通过显微镜目检的情景，将相机与镜头组合好后，选用一个高角度环形光作为光源，将光源安装套在镜头中间，拍摄出来的图像与显微镜近似，但上述拍摄方法中，由于光源单一，沟底玻璃会对检测裸片进行干扰，并且相机拍摄时也会将检测台面上的瑕疵，例如氧化膜残留、玻璃点和凹坑拍摄进照片里，使得工作人员需要对照片里的瑕疵进行区分，而单个环形光的拍摄方式，使得玻璃上的显空与玻璃断裂区分度低，通过图像难以与复杂的沟槽玻璃区分，同时检测台面上的玻璃点、氧化膜残留、坑这三种缺陷也难以区分，这些缺陷需要人工在显微镜下将产品多次转换角度才能区分，普通单个光源在2d图像上难以明确区分，增大了工作人员后期的工作量，并且检测精度不高。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供一种gpp裸片表面缺陷视觉检测装置，所述检测装置包括安装架，所述安装架的下部设有环形框，所述环形框内设有光源，所述光源为环形光源，安装架上设有相机，所述安装架侧壁设有固定板，所述固定板中部设有圆形的开口，所述固定板的下侧设有穹顶灯，所述环形光源与穹顶灯相互作用，环形光源用于检测gpp裸片表面的颜色异常缺陷，在环形光源照射到gpp裸片的颜色异常缺陷部位时，会呈现黑色；穹顶灯用于根据gpp裸片上缺陷的ng标准对缺陷进行细分。
5.优选地，所述安装架侧壁设有辅助板，所述辅助板侧壁设有固定块，所述固定块上侧壁与相机固定连接，所述固定块下侧设有与相机连接的远心镜头。
6.优选地，所述远心镜头与穹顶灯固定连接，所述远心镜头的下端穿过固定板中部的开口。
7.优选地，所述环形框的口径从上往下逐渐减小。
8.优选地，所述安装架上设有第一滑动组件，相机和辅助板均与第一滑动组件连接。
9.优选地，所述第一滑动组件包括设置在安装架上的电动滑轨，电动滑轨内设有多个电动滑块，相机和辅助板均与对应的电动滑块连接。
10.优选地，所述穹顶灯位于远心镜头正下方并紧贴远心镜头。
11.优选地，所述穹顶灯的灯光颜色为蓝色。
12.优选地，所述安装架上设有第二滑动组件，环形框与第二滑动组件连接。
13.优选地，所述第二滑动组件包括设置在安装架两侧的侧滑轨，环形框与侧滑轨连接。
14.优选地，所述环形框的上表面设有两个弧形的连接耳，连接耳位于环形框的两端，连接耳延伸至对应的侧滑轨内并与侧滑轨滑动连接。
15.优选地，所述固定板的截面呈l型结构。
16.本实用新型具有以下有益效果：
17.(1)本实用新型中，在远心镜头的下端设置有穹顶灯，并且，在穹顶灯的外围布设有环形框，环形框内设有环形的光源，利用穹顶灯光的水平特性与环形光组合，既能够检出待测区域表面颜色差异的缺陷，又能够检测出平面上出现高低差的缺陷(可明确分辨出氧化膜残留、玻璃残留、凹坑)，同时两个光源不存在阻挡干扰，并且在穹顶灯光下显空和玻璃断开缺陷特征明显，可以被准确识别，进一步提高了检测的精度，减轻了工作人员后期的工作量；
18.(2)本实用新型主要通过设置穹顶光与低角度环形光组合，这种设置方式在2d图像上能够检测金属台面的氧化膜残留、玻璃点和凹坑的同时检测玻璃上的显空与玻璃断裂，环形光的色彩信息可以将检测台面上所有颜色异常缺陷检出，氧化膜残留、玻璃点与坑在环形光下都是发黑缺陷，但是不同的缺陷ng标准不同，需要细分，而穹顶光的水平光特性，可以将凹坑和玻璃残留这样的凹陷和凸起缺陷细分出来，显空与亮线断开，玻璃上都会存在高度变化再在穹顶光的水平特性下能够立马显现出缺陷，穹顶光的光源效果对缺陷特征过于敏感，细微缺陷都会检出，会降低良率，再在环形光的效果下做二次判断，这样准确度与良率都能兼顾；
19.(3)本实用新型中，在安装架上设有电动滑轨，电动滑轨上设有多个电动滑块，相机和辅助板均与对应的电动滑块连接，通过控制电动滑轨能够实现对相机的高度的调节，同时也实现了对远心镜头和穹顶灯高度的调节；并且，在安装架的两侧设有侧滑轨，环形框上设有连接耳，连接耳延伸至对应的侧滑轨内并与侧滑轨滑动连接，通过控制侧滑轨能够调节环形框以及其内部环形光源的高度，综上，本实用新型能够根据拍摄需要调节穹顶灯、相机以及环形光源的位置，为拍摄出更加清晰的图像提供了更好的条件。
20.本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1示出本实用新型实施例中检测装置的结构示意图；
23.图2示出本实用新型实施例中检测装置另一视角的结构示意图。
24.图中：环形框1；穹顶灯2；远心镜头3；相机4；安装架5；固定板6；辅助板7；固定块8；电动滑轨9；电动滑块10；侧滑轨11。
具体实施方式
25.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.本实用新型公开了一种gpp裸片表面缺陷视觉检测装置，如附图1所示，检测装置包括安装架5，安装架5侧壁设有固定板6，固定板6的截面呈l型结构，固定板6中部设有圆形的开口，固定板6的下侧设有穹顶灯2，穹顶灯2的灯光竖直向下照射，安装架5的下部设有环形框1，环形框1内设有光源，光源为环形光源，环形光源与穹顶灯2相互作用，环形光源用于检测gpp裸片表面的颜色异常缺陷，在环形光源照射到gpp裸片的颜色异常缺陷部位时，会呈现黑色；穹顶灯2用于根据gpp裸片上缺陷的ng标准对缺陷进行细分，环形框1的口径从上往下逐渐减小，如附图2所示，安装架5上设有第二滑动组件，环形框1与第二滑动组件连接，第二滑动组件包括设置在安装架5两侧的侧滑轨11，环形框1与侧滑轨11连接，环形框1的上表面设有两个弧形的连接耳，连接耳位于环形框1的两端，连接耳延伸至对应的侧滑轨11内并与侧滑轨11滑动连接，安装架5侧壁设有辅助板7，辅助板7侧壁设有固定块8，安装架5上设有相机4，固定块8上侧壁与相机4固定连接，安装架5上设有第一滑动组件，相机4和辅助板7均与第一滑动组件连接，第一滑动组件包括设置在安装架5上的电动滑轨9，值得注意的是，本实施例中，电动滑轨9与侧滑轨11均与外部控制系统连接，即能够通过控制系统来驱动电动滑轨9和侧滑轨11的启动与关断，并能够通过控制系统的程序来确定电动滑轨9和侧滑轨11带动其上结构移动的距离，通过上述设计能够提高装置整体的自动化程度，电动滑轨9内设有多个电动滑块10，相机4和辅助板7均与对应的电动滑块10连接，固定块8下侧设有与相机4连接的远心镜头3，远心镜头3与穹顶灯2固定连接，远心镜头3的下端穿过固定板6中部的开口，进一步地，远心镜头3的周向侧壁与固定板6中部的开口内壁接触，能够避免在使用过程中远心镜头3发生晃动，从而提高拍摄成品的清晰程度，穹顶灯2位于远心镜头3正下方并紧贴远心镜头3，穹顶灯2的灯光颜色为蓝色。
27.使用时，将该装置固定在数据机台上，在控制系统内输入拍照路径程序，根据需要调节相机4和环形框1的高度，具体调节方式如下：需要调节相机4的高度时，只需要启动电动滑轨9，电动滑轨9带动其上的多个电动滑块10移动，进而带动相机4和辅助板7上下移动，能够调节相机4的位置，相机4在移动的同时会带动与其连接的远心镜头3移动，同时穹顶灯2的高度也会变化，进而调节穹顶灯2所在光源的位置，确保穹顶灯2能够提供更好地拍摄条件；需要调节环形框1的位置时，只需要启动两侧的侧滑轨11，侧滑轨11带动其上的连接耳上下移动，进而带动环形框1上下移动，环形框1上的环形光源也会上下移动，从而实现对环形光源高度的调节，进一步为拍摄工作提供更好地拍摄条件。
28.调节好相机4、穹顶灯2和环形框1的高度后，启动相机4，通过相机4和远心镜头3对待测区域进行拍图检测，拍摄过程中，可以根据需要对待测物的位置进行调节，也可以再次
对相机4等结构的位置进行调节，当所有位置检测结束后，打标仪器会移动至打标工位按照缺陷晶粒位置打标。
29.综上，通过利用穹顶灯光的水平特性与环形光的组合，既能够检出待测区域表面颜色差异的缺陷，又能够检测出平面上出现高低差的缺陷(可明确分辨出氧化膜残留、玻璃残留、凹坑)，同时两个光源不存在阻挡干扰。并且在穹顶灯光下显空和玻璃断开缺陷特征明显，可以被准确识别，进一步提高了检测的精度。
30.本领域的普通技术人员应当理解：尽管参考前述实施例对本实用新型进行的详细说明，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。