该技术已申请专利。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种排线坦克链保护装置及包括该保护装置的传输装置。


背景技术：

2.随着半导体制造技术的发展，自动化程度的提高，半导体的生产要求也越来越高。对半导体设备的稳定性有了更高的要求，尤其在fab中，设备的停机时间直接影响到整个生产，造成经济损失。
3.现有技术的传送机台出货口的排线坦克链仅仅依靠两端的螺丝进行固定，排线坦克链在运动的过程中两侧无限位，容易偏离出中心位置，导致机台与排线坦克链发生碰撞,引起机台故障，排线坦克链运行时无法保证生产安全。
4.为此，需要一种新型的排线坦克链保护装置及包括该保护装置的传输装置以提高其运行时的安全性。


技术实现要素：

5.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种排线坦克链保护装置，用于解决现有技术中传送机台出货口的排线坦克链仅仅依靠两端的螺丝进行固定，排线坦克链在运动的过程中两侧无限位，容易偏离出中心位置，导致机台与排线坦克链发生碰撞,引起机台故障，排线坦克链运行时无法保证生产安全的问题。
6.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种排线坦克链保护装置，包括：
7.固定板，所述固定板的顶端外表面固定连接有第一连接板，所述第一连接板的一侧外壁固定连接有坦克链的一端，所述坦克链的另一端固定连接有第二连接板；
8.滑动板，所述滑动板的一侧外壁与所述第二连接板固定连接，用于带动所述坦克链移动；
9.固定连接在所述固定板的顶端外表面，且位于所述坦克链下方的第一挡板，所述第一挡板的两侧外壁均固定连接有第二挡板。
10.优选地，所述第一挡板和第二挡板的材料均为不锈钢。
11.优选地，所述第一挡板的长度大于所述坦克链移动时与所述第一挡板接触的长度。
12.优选地，所述坦克链的底端与所述第一挡板的上表面间具有间隙。
13.优选地，所述第一挡板与所述固定板通过螺栓连接。
14.优选地，所述第一挡板和所述固定板上均开设有螺纹孔，所述螺栓连接在所述螺纹孔中，且所述螺栓端位于所述第一挡板上表面的下侧。
15.优选地，所述第一挡板的底端设置有第三连接板，所述第三连接板与所述固定板的两侧外壁通过所述螺栓连接。
16.优选地，所述坦克链移动时与所述螺栓不产生接触。
17.优选地，所述第一挡板焊接在所述固定板上。
18.一种传输装置，包括上述的排线坦克链保护装置。
19.如上所述，本实用新型的排线坦克链保护装置，具有以下有益效果：
20.本实用新型通过加装该装置后，排线坦克链在运动的过程中，会在限定的空间内动作，不会碰撞机台；机台故障大幅度降低,减少了机台的损耗,减少了维护人力,明显提高机台的使用率,对整个生产顺利进行有很大的积极作用。
附图说明
21.图1显示为本实用新型的立体结构示意图；
22.图2显示为本实用新型的a处的结构放大示意图；
23.图3显示为本实用新型的一种实施例第一挡板的安装示意图。
具体实施方式
24.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
25.请参阅图1，本实用新型提供一种排线坦克链保护装置，包括：
26.固定板1，固定板1的顶端外表面固定连接有第一连接板21，第一连接板21的一侧外壁固定连接有坦克链2的一端，坦克链2的另一端固定连接有第二连接板22；
27.滑动板3，滑动板3的一侧外壁与第二连接板22固定连接，滑动板3可通过电动滑轨等组件移动，用于带动坦克链2移动，现有技术的传送机台出货口的排线坦克链2仅仅依靠两端的螺丝进行固定，排线坦克链2在运动的过程中两侧无限位，容易偏离出中心位置，导致机台与排线坦克链2发生碰撞,引起机台故障，排线坦克链2运行时无法保证生产安全；
28.固定连接在固定板1的顶端外表面，且位于坦克链2下方的第一挡板4，第一挡板4的两侧外壁均固定连接有第二挡板41，第二挡板41的高度高于第一挡板4，能够对坦克链2起到限位作用。
29.在一种可选的实施方式中，第一挡板4和第二挡板41的材料均为不锈钢。
30.在一种可选的实施方式中，第一挡板4的长度大于坦克链2移动时与第一挡板4接触的长度，能够充分避免坦克链2的侧移。
31.在一种可选的实施方式中，坦克链2的底端与第一挡板4的上表面间具有间隙，不影响坦克链2的移动。
32.在一种可选的实施方式中，第一挡板4与固定板1通过螺栓42连接。
33.在一种可选的实施方式中，第一挡板4和固定板1上均开设有螺纹孔，螺栓42连接在螺纹孔中，且螺栓42端位于第一挡板4上表面的下侧，即避免了坦克链2与螺栓42的接触，进一步提升了安全性。
34.在一种可选的实施方式中，第一挡板4的底端设置有第三连接板43，第三连接板43与固定板1的两侧外壁通过螺栓42连接，即避免了坦克链2与螺栓42的接触，进一步提升了
安全性。
35.在一种可选的实施方式中，坦克链2移动时与螺栓42不产生接触，可以适当延长第一挡板4的长度，使坦克链2不与螺栓41接触。
36.在一种可选的实施方式中，第一挡板4焊接在固定板1上。
37.一种传输装置，包括上述的排线坦克链保护装置。
38.需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
39.综上所述，本实用新型通过加装该装置后，排线坦克链在运动的过程中，会在限定的空间内动作，不会碰撞机台；机台故障大幅度降低,减少了机台的损耗,减少了维护人力,明显提高机台的使用率,对整个生产顺利进行有很大的积极作用。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
40.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.一种排线坦克链保护装置，其特征在于，包括：固定板(1)，所述固定板(1)的顶端外表面固定连接有第一连接板(21)，所述第一连接板(21)的一侧外壁固定连接有坦克链(2)的一端，所述坦克链(2)的另一端固定连接有第二连接板(22)；滑动板(3)，所述滑动板(3)的一侧外壁与所述第二连接板(22)固定连接，用于带动所述坦克链(2)移动；固定连接在所述固定板(1)的顶端外表面，且位于所述坦克链(2)下方的第一挡板(4)，所述第一挡板(4)的两侧外壁均固定连接有第二挡板(41)。2.根据权利要求1所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)和第二挡板(41)的材料均为不锈钢。3.根据权利要求1所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)的长度大于所述坦克链(2)移动时与所述第一挡板(4)接触的长度。4.根据权利要求1所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述坦克链(2)的底端与所述第一挡板(4)的上表面间具有间隙。5.根据权利要求1所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)与所述固定板(1)通过螺栓(42)连接。6.根据权利要求5所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)和所述固定板(1)上均开设有螺纹孔，所述螺栓(42)连接在所述螺纹孔中，且所述螺栓(42)端位于所述第一挡板(4)上表面的下侧。7.根据权利要求5所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)的底端设置有第三连接板(43)，所述第三连接板(43)与所述固定板(1)的两侧外壁通过所述螺栓(42)连接。8.根据权利要求5所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述坦克链(2)移动时与所述螺栓(42)不产生接触。9.根据权利要求1所述的排线坦克链保护装置，其特征在于：所述第一挡板(4)焊接在所述固定板(1)上。10.一种传输装置，其特征在于，包括：如权利要求1至9任一项所述的排线坦克链保护装置。

技术总结
本实用新型提供一种排线坦克链保护装置及包括该保护装置的传输装置，一种排线坦克链保护装置，包括固定板，固定板的顶端外表面固定连接有第一连接板，第一连接板的一侧外壁固定连接有坦克链的一端，坦克链的另一端固定连接有第二连接板；滑动板，滑动板的一侧外壁与第二连接板固定连接，用于带动坦克链移动；固定连接在固定板的顶端外表面，且位于坦克链下方的第一挡板，第一挡板的两侧外壁均固定连接有第二挡板。本实用新型通过加装该装置后，排线坦克链在运动的过程中，会在限定的空间内动作，不会碰撞机台；机台故障大幅度降低,减少了机台的损耗,减少了维护人力,明显提高机台的使用率,对整个生产顺利进行有很大的积极作用。用。用。


技术研发人员：周洪举 张叶 范敏军
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：2022.05.30
技术公布日：2022/11/28