硅加工制造业供电系统电能质量
admin
2021-01-24 18:05:51
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常用的负载炉型有：单晶炉、真空炉、多晶炉、中频炉等。其生产工艺通常分为熔融加热和直流加热，熔融加热多采用中频加热炉，直拉式单晶多采用直流加热炉。但不论是中频炉还是单晶炉均采用半导体可控整流方式，会产生非常大的电流谐波，对电网造成谐波污染，使得精密仪器精度失准甚至误动作，破坏了系统的无功补偿，造成系统供电损耗的增加及损坏补偿电容器等，对于单晶硅的加工流程造成非常大的影响， 因此电网的品质间接决定着成品材料的品质，几乎所有的单晶硅制造生产线都面临谐波问题。
低压配电设备
铸锭炉：负载谐波含量大。总失真度高达 30%，但主要集中在 5、7、11、13、17、19 次，其中又以5、7、11 次最为严重。属于波动性负载，波动迅速频繁；运用传统的无源滤波器根本满足不了快速跟踪的要求，功率因数一般为 0.8 左右。 中频炉：负载谐波含量大，总失真度最高达到了 30%以上；基本上属于稳定负载，仅在出炉、升温时会有波动，谐波主要集中在 5、7、11、13、17、19、23 次，其中又以 5、7、11 次最为严重；中频炉一般运行在 1KHz～2KHz，因此谐波的频谱范围很宽，不仅存在大量低次谐波，如 5、7、11 次等，大于 25 次的高次谐波也大量存在，具体表现在系统电压上含有大量毛刺；功率因数非常低，一般在 0.7 左右，面临高额无功罚款；中频电源的整流电路在换流时刻会产生很大的电压缺口，失真度严重超标，
电抗器制造
